Handbook of multilevel metallization for integrated circuits - materials, technology and applications

Författare
(Edited by Syd R. Wilson and Clarence J. Tracy, John L. Freeman, Jr.)
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Noyes cop. 1993 USA, Park Ridge, N.J xxiii, 887 sidor. : ill. 0-8155-1340-2